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Resonant MEMS

Ouvrage

Auteur principal: BRAND, Olivier, AuteurCo-auteur: DUFOUR, Isabelle, Auteur•HEINRICH, Stephen M., AuteurLangue : anglaisPublication : Wiley-VCH, 2015Description: XXV + 483, 17x25ISBN : 9783527335459.Collection: Advanced micro & nanosystems

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