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Conception des microsystèmes sur silicium / sous la direction de Salvador Mir

Ouvrage
Auteur principal: Mir, Salvador, Directeur de publicationLangue : françaisPays : France.Publication : Paris : Hermès Science Publ.Lavoisier, DL 2002Description: 1 vol. (221 p.), ill., 25 cmISBN : 2746205068.Collection: EGEM : électronique - génie électrique - microsystèmesBibliographie : Bibliogr. en fin de chapitres. Index.Sujet - Nom commun: Microtechniques | Microélectronique | Silicium -- Substrats
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Ouvrage Ouvrage La bibliothèque de l'ESPCI Stockage externe R-1397 (Browse shelf(Opens below)) Available R-1397

Bibliogr. en fin de chapitres. Index