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Procédés chimiques de dépôt à partir d'une phase gazeuse / Yves Pauleau

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Auteur principal: Pauleau, Yves, 1942-2010, chimiste, AuteurLangue : françaisPays : France.Publication : Paris : Hermès science publ., Lavoisier, impr. 2004Description: 1 vol. (415 p.), ill., 24 cmISBN : 2746209489.Bibliographie : Bibliogr. p. [403]-411. Index.Sujet - Nom commun: Dépôt chimique en phase vapeur | Revêtement de surface | Couches minces | Génie chimique | Activation chimique | Gaz -- composition chimique | Photochimie | Propriétés de surface | Micro-ondes

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