Details for: Reliability of MEMS , testing of materials and devices

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Reliability of MEMS : testing of materials and devices / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya

Ouvrage

Auteur secondaire: Tsuchiya, Toshiyuki, Editeur•Tabata, Osamu, 1956-...., EditeurLangue : anglaisPays : Allemagne.Publication : Weinheim : Wiley-VCH, cop. 2008Description: 1 vol. (XX-303 p.), ill., 25 cmISBN : 9783527314942.Collection: Advanced micro & nanosystems, 6Bibliographie : Notes bibliogr. Index.Sujet - Nom commun: Microelectromechanical systems -- Reliability | Systèmes microélectromécaniques

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