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Silicide technology for integrated circuits / edited by Lih J. Chen

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Auteur principal collectivité: Institution of Electrical Engineers, Londres, 1871-2006, AuteurAuteur secondaire: Chen, Lih J., EditeurLangue : anglaisPays : Royaume-Uni.Publication : London : Institution of Electrical Engineers, cop.2004Description: 1 vol. (xviii, 279 p.), ill., 26 cmISBN : 0863413528; 978-0-86341-352-0.Collection: Processing series, No. 5Note de contenu : 1. Silicides an introduction / J.W. Mayer and S.S. Lau 2. Silicide formation / L.J. Chen 3. Titanium silicide technology / Z. Ma and L.H. Allen 4. Cobalt silicide technology / T. Kikkawa, K. Inoue and K. Imai 5. Nickel silicide technology / C. Lavoie, C. Detavernier and P. Besser 6. Light-emitting iron disilicide / L.J. Chou 7. Silicide contacts for Si/Ge devices / J.E. Burnette, M. Himmerlich and R.J. Nemanich 8. Silicide technology for SOI devices / L.P. Ren and K.N. Tu 9. Characterisation of metal silicides / Y.F. Hsieh, S.L. Cheng and L.J. Chen Bibliographie : Références bibliogr. Index.Sujet - Nom commun: Silicides | Integrated circuits -- Materials | Circuits intégrés | Silicium
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Références bibliogr. Index

1. Silicides an introduction / J.W. Mayer and S.S. Lau 2. Silicide formation / L.J. Chen 3. Titanium silicide technology / Z. Ma and L.H. Allen 4. Cobalt silicide technology / T. Kikkawa, K. Inoue and K. Imai 5. Nickel silicide technology / C. Lavoie, C. Detavernier and P. Besser 6. Light-emitting iron disilicide / L.J. Chou 7. Silicide contacts for Si/Ge devices / J.E. Burnette, M. Himmerlich and R.J. Nemanich 8. Silicide technology for SOI devices / L.P. Ren and K.N. Tu 9. Characterisation of metal silicides / Y.F. Hsieh, S.L. Cheng and L.J. Chen