TY  - BOOK
AU  - Ghandhi, Sorab Khushro
TI  - VLSI fabrication principles
SN  - 0471580058
PY  - 1994///
CY  - New York [etc.]
PB  - J. Wiley & sons
KW  - 029487684
KW  - Semiconducteurs à l'arséniure de gallium
KW  - rameau
KW  - 027895823
KW  - Circuits intégrés à très grande échelle
KW  - 028117956
KW  - Silicones
KW  - 033946426
KW  - Arséniure de gallium
KW  - Silicon
KW  - lc
KW  - Gallium arsenide
KW  - Integrated circuits
KW  - Very large scale integration
KW  - 621.3.049
KW  - 621.3815/2
KW  - 20
KW  - TK7874
KW  - .G473 1994
N2  - Bibliogr. en fin de chapitres. Index
ER  -