TY  - BOOK
AU  - Mir, Salvador
TI  - Conception des microsystèmes sur silicium
T2  - EGEM
SN  - 2746205068
KW  - 027702839
KW  - Microtechniques
KW  - rameau
KW  - 027337510
KW  - Microélectronique
KW  - 031376398
KW  - Silicium
KW  - Substrats
KW  - 621.38
KW  - 21
N2  - Bibliogr. en fin de chapitres. Index
ER  -