TY - BOOK AU - Corbett, James W. AU - Pearton, Stephen J. AU - Pennycook, Stephen J. TI - Oxygen, carbon, hydrogen and nitrogen in crystalline silicon T2 - Materials Research Society symposia proceedings VL - Vol. 59 SN - 0931837243 KW - 029808855 KW - Silicium cristallisé KW - rameau KW - 032103522 KW - Semiconducteurs KW - Diffusion des impuretés KW - 02886431X KW - Actes de congrès N2 - Notes bibliogr. en fin de chapitres. Index ER -