TY - BOOK ED - Observatoire français des techniques avancées TI - Nanotechnologies et micromachines T2 - Arago VL - 12 SN - 2225840709 KW - 027337510 KW - Microélectronique KW - rameau KW - 031918247 KW - Nanotechnologie KW - 028206789 KW - Micromécanique (ingénierie) KW - 027702839 KW - Microtechniques KW - 027873226 KW - Technologie de pointe KW - 62 KW - Éd. 1967 KW - 620.5 KW - 22 KW - 621.381.5 KW - T174.7 N2 - Notes bibliogr ER -