TY - BOOK AU - Varadan, Vijay Krishna AU - Vinoy, Kalarickaparambil Joseph AU - Gopalakrishnan, Srinivasan TI - Smart material systems and MEMS SN - 0470093617 PY - 2006/// CY - Chichester, England, Hoboken, NJ PB - John Wiley & Sons KW - 053513746 KW - Systèmes microélectromécaniques KW - rameau KW - 03257357X KW - Matériaux intelligents KW - 621.381 KW - 22 KW - TK7875 KW - .V377 2006 N2 - Bibliogr.. Index ER -