TY  - BOOK
AU  - Hsu, Tai-Ran
TI  - Mems packaging
T2  - EMIS processing series
VL  - no. 3
SN  - 0863413358
PY  - 2004///
CY  - London
PB  - Institution of Electrical Engineers
KW  - 053513746
KW  - Systèmes microélectromécaniques
KW  - rameau
KW  - 027337510
KW  - Microélectronique
N2  - Bibliogr. Index
ER  -