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| 100 | _a20241101d2005 m||y0frey50 ba | ||
| 101 | _afre | ||
| 200 | _aEléments de technique du vide et d'études des surfaces | ||
| 214 |
_aParis _cESPCI Laboratoire de physique quantique _d2005 |
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| 215 | _a121 p. | ||
| 300 | _aPolycopié | ||
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_aMARCHAND _bDaniel _4070 |
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